超硬纳米复合涂层是耐磨应用领域中的高端涂层。新一代超硬涂层的 发展取决于适当的材料设计以实现更好的综合性能，如高硬度和高韧 性。然而，现有的制备技术（包括物理气相沉积和化学气相沉积）有其 自身的局限性，例如，因高温而使基板变形，或沉积涂层的疏松结构 等。至今，只有极少数外国制造商可以通过电弧技术生产纳米复合涂 层，但在实际应用上仍存在一些限制，而设备上的投资亦巨大。在本研究项目中，我们采用具有成本效益的等离子体新工艺，来制备可应 用于工业界的超硬纳米复合涂层。 先进涂层应用研究实验室开发了具有自动控制功能的新型涂装设 备，随后进行了镀膜技术产业化的推广。该设备的同一真空室中具 有中频磁控溅射、磁过滤弧以及增强离子源等多种等离子体沉积过 程。

        在这基础上，我们合成、分析、优化一系列纳米复合涂层（例如 TiSiN、TiAISiN和TiAISiCN等），并且将通过技术转移投入大规模生产。为此需要开发相应的等离子体诊断技术和工艺控制技术。此外， 我们还对纳米复合涂层在乾燥条件下的高速切削性能作出评估。可以 预期，这一新的研究开发计画将增进我们对这些新涂层材料的了解， 并会为香港和内地制造业提供经济实用的涂层制备技术。 

        有用连结：先进涂层应用研究实验室（http://www6.cityu.edu.hk/acarl）